| 品牌 | 其他品牌 | 能量范圍 | 0.5–50 keV |
|---|---|---|---|
| 低能優(yōu)化窗口 | 500 eV–3 keV | 掃描速率 | 100 MHz（像素駐留10 ns） |
| 信號(hào)下降時(shí)間 | <10 ns（Advanced模塊） | 幾何收集效率 | 達(dá)80%（BSD-420），定制可達(dá)85% |
| 探測(cè)器面積范圍 | 40–420 mm2（標(biāo)準(zhǔn)），可定制 | 可用分段/環(huán)數(shù) | 4段/1–2環(huán)，可定制 |
| 前置放大器 | 獨(dú)立或集成4通道 | 主放大器 | MA-PN4/MA-PN99 |
| 適配平臺(tái) | 各品牌SEM掃描電子顯微鏡 |
昊量光電/星朗浩宇背散射電子探測(cè)器（BSD）
覆蓋0.5 keV至300 keV，響應(yīng)速度快，高度訂制靈活性！
昊量光電/星朗浩宇背散射電子探測(cè)器（BSD）系統(tǒng)為掃描電子顯微鏡（SEM）中的 BSE 圖像采集提供了完整的一站式解決方案。整個(gè)系統(tǒng)包含探測(cè)器、高速信號(hào)處理電子學(xué)以及可伸縮機(jī)械組件，可輕松安裝于任何品牌的 SEM 中。
該產(chǎn)品的特點(diǎn)：
◆ 低噪聲特性
低暗電流和低信號(hào)電容值確保了在低束流條件下對(duì)敏感樣品進(jìn)行低噪聲成像，圖像質(zhì)量清晰。
◆ 超高檢測(cè)速度
集成 4 通道前置放大器與低信號(hào)電容設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)超越 TV 幀率的超快成像，掃描速率高達(dá) 100 MHz。
◆ 低 keV 性能優(yōu)異
持續(xù)優(yōu)化的輻射入射窗口，在 500 eV – 3 keV 低能量范圍內(nèi)保持出色效率，并減少樣品損傷。所有探測(cè)器窗口均耐輻射。
◆ 高收集效率
優(yōu)化的芯片技術(shù)與幾何設(shè)計(jì)帶來(lái)更高的信號(hào)強(qiáng)度。幾何收集效率高達(dá) 85%，實(shí)現(xiàn)高對(duì)比度和優(yōu)異的信噪比。
◆ 短工作距離兼容
扁平鋁制外殼設(shè)計(jì)，可在短工作距離下進(jìn)行成像，靈活適配各類 SEM 腔室空間。
◆ 多樣化幾何配置
提供多種 BSD 二極管類型，可安裝于標(biāo)準(zhǔn)或特定外殼中。支持不同芯片幾何形狀以適配各類應(yīng)用場(chǎng)景。
◆ 完整系統(tǒng)方案
從探測(cè)器、前置放大器、定位系統(tǒng)到主放大器，提供交鑰匙式完整 BSE 成像系統(tǒng)。
該產(chǎn)品主要參數(shù)：
| 能量范圍 | 0.5 – 50 keV |
| 低能優(yōu)化窗口 | 500 eV – 3 keV |
| 掃描速率 | 100 MHz（像素駐留 10 ns） |
| 信號(hào)下降時(shí)間 | < 10 ns（Advanced模塊） |
| 幾何收集效率 | 達(dá) 80%（BSD-420），定制可達(dá) 85% |
| 探測(cè)器面積范圍 | 40 – 420 mm2（標(biāo)準(zhǔn)），可定制 |
| 可用分段/環(huán)數(shù) | 4 段 / 1–2 環(huán)，可定制 |
| 前置放大器 | 獨(dú)立 4 通道（Standard）/ 集成 4 通道（Advanced） |
| 定位系統(tǒng) | 手動(dòng)伸縮臂 V1（快速）/ V2（高精度） |
| 主放大器 | MA-PN4 / MA-PN99 |
| 適配平臺(tái) | 各品牌 SEM（掃描電子顯微鏡） |
上海市徐匯區(qū)虹梅路2007號(hào)6號(hào)樓3樓
info@auniontech.com
