| 品牌 | 其他品牌 | 供貨周期 | 一個月 |
|---|---|---|---|
| 產品型號 | ES40C1 | 安裝法蘭 | DN 40CF（可旋轉） |
| 能量范圍 | 0-5 keV | 采樣電流 | 高達100 μA |
| 掃描區域 | 10 mm x 10 mm | 陰極類型 | 釷鎢 |
| FWHM | 最小120 μm（距離56 mm） | 工作距離 | 23-150 mm |
| 烘烤溫度 | 最高250 °C | 工作壓力 | <5×10^-6 mbar |
昊量光電/星朗浩宇電子源/電子槍ES40C1
小光斑輪廓的可掃描電子源，集成掃描和偏轉單元
昊量光電/星朗浩宇電子源/電子槍ES40C1，帶有小斑點輪廓。由于其Einzel透鏡的高透射率，ES 40C能夠在較寬的能量范圍內提供高電子束電流。ES 40C1 旨在實現如AES、掃描應用、成像、電子電磁器等領域的穩定可靠運行。
該產品的特征
• 精細聚焦微成型高水平陰極
• 具有小光斑輪廓的可掃描電子源
• 入射電子束角度校正（ES40-PS電源提供）
• 集成掃描和偏轉單元
該產品的選項
• 線性移位
• 定制插入長度
• 源屏蔽材料（Cu或μ-metal）
該產品的技術規格
| 安裝法蘭 | DN 40CF（可旋轉） |
| 能量范圍 | 0 – 5 keV |
| 采樣電流 | 高達 100 μA |
| 掃描區域 | 10 mm x 10 mm |
| 屏蔽 | Cu或μ-metal |
| 陰極類型 | 釷鎢 |
| 插入長度 | 蕞小 155.7 毫米，（其他應要求提供）外徑：33.5 mm（μ-metal），35 mm（Cu） |
| FWHM | 取決于工作距離，蕞小 120 μm（距離 56 mm） |
| 工作距離 | 23 mm – 150 mm（典型值為 75 mm） |
| 烘烤溫度 | 蕞高 250 °C |
| 工作壓力 | < 5×10-6mbar |
電子源電源 ES40-PS
允許微調電子束能量、密度、樣品上的位置以及電子束輪廓。掃描功能允許獨立控制掃描速度和范圍。所有設置都可以手動調整，也可以在設備打開后自動存儲和調用。該裝置還具有內置定時器和自動待機模式。ES40-PS可以作為全寬19"機架（3U高）或獨立式提供。通過 USB 端口輕松更新固件。設備可通過RS232/485或以太網接口進行遠程控制。自動保存功能，用于保存參數/單位預設并在重新啟動后自動應用它們。
電子源電源ES-ps技術規格：
| 供電電壓 | 100 – 120 VAC / 200 – 240 VAC，50-60 Hz（功耗蕞大250瓦） |
| 束流能量 | 0 – 5000 eV，分辨率0.1 eV，波紋<200 mV |
| 發射電流 | 0.1 – 300 μA，分辨率 0.01 μA【ES模式】 1 – 3000 nA，分辨率 1 nA 【CMA模式】 |
| 聚焦電壓 | 60 – 與能量電壓相關，分辨率 0.1% |
| 韋內爾特電壓 | 0 – 150 V，分辨率 0.1 V [ES 模式] -12 – 12 V，分辨率 0.1 V [CMA 模式] |
| 波束位置（Px，Py） | 分辨率0.01毫米，中間位置±5毫米 |
| 掃描面積（Δx， Δy） | 10毫米×10毫米，分辨率0.01毫米。 |
| 掃描速度（時間/點） | 20微秒 – 30毫秒 |
| 計時器 | 雙模計時器0秒 – 99小時59分鐘 |
| 真空測量（可選） | CTR90、TTR91、TTR211、PTR225、PTR90、ITR90、ITR100、巴拉特隆、模擬輸入、MKS937A、PG105、MG13/14、PKR251/360/361、PCR280、ATMION |
| 通信接口 | RS232/485，以太網 |
| 通信協議 | MOdbuS-TCP |
| 用戶界面 | 7英寸TFT顯示屏帶觸摸屏，數字編碼器 |
| 接口語言 | 英語、德語、波蘭語 |
| 尺寸 | 483 x 133 x 435 毫米（寬 x 高 x 深），19英寸機架安裝 |
| 重量（約） | 9.2公斤 |
電子源電源ES-ps的應用：
ES40-PS電源旨在與ES40C1低能電子源或雙通迷你圓柱鏡分析儀CMA 40CF配合使用。電源允許微調電子束輪廓，以在高能量和發射電流下實現小光斑。
電子源電源ES-ps的選項：
– 軟件控制（專業版、擴展版或庫模塊），
– 用于真空測量的模擬 I/O 卡（1 個儀表）。
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