| 品牌 | 其他品牌 | 供貨周期 | 一個(gè)月 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品型號(hào) | ES40C1 | 安裝法蘭 | DN 40CF（可旋轉(zhuǎn)） |
| 能量范圍 | 0-5 keV | 采樣電流 | 高達(dá)100 μA |
| 掃描區(qū)域 | 10 mm x 10 mm | 陰極類型 | 釷鎢 |
| FWHM | 最小120 μm（距離56 mm） | 工作距離 | 23-150 mm |
| 烘烤溫度 | 最高250 °C | 工作壓力 | <5×10^-6 mbar |
昊量光電/星朗浩宇電子源/電子槍ES40C1
小光斑輪廓的可掃描電子源，集成掃描和偏轉(zhuǎn)單元
昊量光電/星朗浩宇電子源/電子槍ES40C1，帶有小斑點(diǎn)輪廓。由于其Einzel透鏡的高透射率，ES 40C能夠在較寬的能量范圍內(nèi)提供高電子束電流。ES 40C1 旨在實(shí)現(xiàn)如AES、掃描應(yīng)用、成像、電子電磁器等領(lǐng)域的穩(wěn)定可靠運(yùn)行。
該產(chǎn)品的特征
• 精細(xì)聚焦微成型高水平陰極
• 具有小光斑輪廓的可掃描電子源
• 入射電子束角度校正（ES40-PS電源提供）
• 集成掃描和偏轉(zhuǎn)單元
該產(chǎn)品的選項(xiàng)
• 線性移位
• 定制插入長(zhǎng)度
• 源屏蔽材料（Cu或μ-metal）
該產(chǎn)品的技術(shù)規(guī)格
| 安裝法蘭 | DN 40CF（可旋轉(zhuǎn)） |
| 能量范圍 | 0 – 5 keV |
| 采樣電流 | 高達(dá) 100 μA |
| 掃描區(qū)域 | 10 mm x 10 mm |
| 屏蔽 | Cu或μ-metal |
| 陰極類型 | 釷鎢 |
| 插入長(zhǎng)度 | 蕞小 155.7 毫米，（其他應(yīng)要求提供）外徑：33.5 mm（μ-metal），35 mm（Cu） |
| FWHM | 取決于工作距離，蕞小 120 μm（距離 56 mm） |
| 工作距離 | 23 mm – 150 mm（典型值為 75 mm） |
| 烘烤溫度 | 蕞高 250 °C |
| 工作壓力 | < 5×10-6mbar |
電子源電源 ES40-PS
允許微調(diào)電子束能量、密度、樣品上的位置以及電子束輪廓。掃描功能允許獨(dú)立控制掃描速度和范圍。所有設(shè)置都可以手動(dòng)調(diào)整，也可以在設(shè)備打開后自動(dòng)存儲(chǔ)和調(diào)用。該裝置還具有內(nèi)置定時(shí)器和自動(dòng)待機(jī)模式。ES40-PS可以作為全寬19"機(jī)架（3U高）或獨(dú)立式提供。通過(guò) USB 端口輕松更新固件。設(shè)備可通過(guò)RS232/485或以太網(wǎng)接口進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。自動(dòng)保存功能，用于保存參數(shù)/單位預(yù)設(shè)并在重新啟動(dòng)后自動(dòng)應(yīng)用它們。
電子源電源ES-ps技術(shù)規(guī)格：
| 供電電壓 | 100 – 120 VAC / 200 – 240 VAC，50-60 Hz（功耗蕞大250瓦） |
| 束流能量 | 0 – 5000 eV，分辨率0.1 eV，波紋<200 mV |
| 發(fā)射電流 | 0.1 – 300 μA，分辨率 0.01 μA【ES模式】 1 – 3000 nA，分辨率 1 nA 【CMA模式】 |
| 聚焦電壓 | 60 – 與能量電壓相關(guān)，分辨率 0.1% |
| 韋內(nèi)爾特電壓 | 0 – 150 V，分辨率 0.1 V [ES 模式] -12 – 12 V，分辨率 0.1 V [CMA 模式] |
| 波束位置（Px，Py） | 分辨率0.01毫米，中間位置±5毫米 |
| 掃描面積（Δx， Δy） | 10毫米×10毫米，分辨率0.01毫米。 |
| 掃描速度（時(shí)間/點(diǎn)） | 20微秒 – 30毫秒 |
| 計(jì)時(shí)器 | 雙模計(jì)時(shí)器0秒 – 99小時(shí)59分鐘 |
| 真空測(cè)量（可選） | CTR90、TTR91、TTR211、PTR225、PTR90、ITR90、ITR100、巴拉特隆、模擬輸入、MKS937A、PG105、MG13/14、PKR251/360/361、PCR280、ATMION |
| 通信接口 | RS232/485，以太網(wǎng) |
| 通信協(xié)議 | MOdbuS-TCP |
| 用戶界面 | 7英寸TFT顯示屏帶觸摸屏，數(shù)字編碼器 |
| 接口語(yǔ)言 | 英語(yǔ)、德語(yǔ)、波蘭語(yǔ) |
| 尺寸 | 483 x 133 x 435 毫米（寬 x 高 x 深），19英寸機(jī)架安裝 |
| 重量（約） | 9.2公斤 |
電子源電源ES-ps的應(yīng)用：
ES40-PS電源旨在與ES40C1低能電子源或雙通迷你圓柱鏡分析儀CMA 40CF配合使用。電源允許微調(diào)電子束輪廓，以在高能量和發(fā)射電流下實(shí)現(xiàn)小光斑。
電子源電源ES-ps的選項(xiàng)：
– 軟件控制（專業(yè)版、擴(kuò)展版或庫(kù)模塊），
– 用于真空測(cè)量的模擬 I/O 卡（1 個(gè)儀表）。
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