| 品牌 | 昊量光電 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類 | 接觸式輪廓儀/粗糙度儀 | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 | 標(biāo)準(zhǔn)依據(jù) | ISO 25178-600/70 |
| 測(cè)量區(qū)域 | 17個(gè)潛在測(cè)量區(qū)域 | 區(qū)域尺寸 | 100-1500μm |
| 校準(zhǔn)用途 | 形貌/平面度/橫軸校準(zhǔn) | 適配儀器 | 表面形貌測(cè)量?jī)x器 |
| 測(cè)量對(duì)象 | 粗糙表面/十字光柵等 | 應(yīng)用倍率 | 5倍至100倍 |
昊量/星朗表面形貌輪廓測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)片/標(biāo)準(zhǔn)樣
昊量/星朗表面形貌輪廓測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)片/標(biāo)準(zhǔn)樣昊量光電提供表面形貌測(cè)量的通用校準(zhǔn)件可用于對(duì)面形貌測(cè)量?jī)x器進(jìn)行全面校準(zhǔn)。該校準(zhǔn)件上包含的材料測(cè)量數(shù)據(jù)可根據(jù) ISO 25178-600 標(biāo)準(zhǔn)確定其計(jì)量特性。
通常，需要六種不同的幾何形狀來確定這些計(jì)量特性。為了實(shí)現(xiàn)常用的5倍至100倍顯微放大倍率，布局中包含了面積分別為100 µm × 100 µm、200 µm × 200 µm、400 µm × 400 µm、800 µm × 800 µm和1500 µm × 1500 µm的不同材料測(cè)量區(qū)域，從而在樣品上總共形成17個(gè)潛在的測(cè)量區(qū)域，涵蓋 ISO 25178-600 中定義的所有計(jì)量特性。
包括以下材料測(cè)量：
1) ???星形樣品（符合 ISO 25178-70 標(biāo)準(zhǔn)的 ASG 型），?積為 400 µm x 400 µm
利用這種材料測(cè)量方法，可以計(jì)算出與測(cè)量?jī)x器的形貌分辨率相對(duì)應(yīng)的測(cè)量值。由此，可以確定以原始振幅 50% 的振幅透射的空間頻率（空間周期極限）[2]。
2) 啁啾材料測(cè)量（CIN 型，不符合現(xiàn)? ISO 標(biāo)準(zhǔn)）：x ?向?積為 400 µm x 400 µm，y ?向? 積為400 µm x 400 µm
通過啁啾材料測(cè)量，可以確定形貌保真度的某些方面，這些方面與 ISO 25178-600 [3] 中的形 貌分辨率相關(guān)。樣品允許分別評(píng)估 x 和 y 方向，尺寸為 400 µm × 400 µm，涵蓋 0.807 µm 至 48.389 µm 之間的 16 個(gè)不同波長(zhǎng)。
3) 圓形啁啾材料測(cè)量（CIN-r 型，不符合現(xiàn)? ISO 標(biāo)準(zhǔn)），?積為 400 µm × 400 µm。
利用圓形啁啾材料測(cè)量，可以確定不同方向上的形貌保真度，這與 ISO 25178-600 [3] 中的形貌分辨率相關(guān)。樣品允許在不同方向上進(jìn)行單獨(dú)評(píng)估，其尺寸為 400 µm × 400 µm，涵蓋 0.807 µm 至 36.830 µm 之間的 15 個(gè)不同波長(zhǎng)。
4) 平?度材料測(cè)量?jī)x（ISO 25178-70 標(biāo)準(zhǔn)中的 AFL 型），測(cè)量?積為 1500 µm x 1500 µm。
利用平面度材料測(cè)量?jī)x，可以確定儀器噪聲和平整度偏差。這是通過測(cè)量 ISO 25178-700 標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定的面紋理參數(shù)來實(shí)現(xiàn)的。
5) 徑向正弦波（符合 ISO 25178-70 標(biāo)準(zhǔn)的 ARS 型），其?積分別為 100 µm × 100 µm、200 µm × 200 µm、400 µm × 400 µm 和 800 µm × 800 µm。
利用這些材料尺寸，可以對(duì)測(cè)量?jī)x器的三個(gè)軸進(jìn)行通用校準(zhǔn)。因此，可以按照 ISO 25178-70 標(biāo)準(zhǔn)確定被測(cè)量值和 。
6) ?字光柵（符合 ISO 25178-70 標(biāo)準(zhǔn)的 ACG 型），尺?分別為 100 µm × 100 µm、200 µm × 200 µm、400 µm × 400 µm 和 800 µm × 800 µm。
十字光柵材料測(cè)量用于校準(zhǔn)橫軸。計(jì)量特性（符合 ISO 25178-600 標(biāo)準(zhǔn)）為局部 x-y 映 射偏差。此外，還可以確定橫軸的線性偏差和 、放大系數(shù)和以及垂直度PER。
7) 不規(guī)則粗糙表?（ISO 25178-70 中的 AIR 型），其?積分別為 100 µm × 100 µm、200 µm × 200 µm、400 µm × 400 µm 和 800 µm × 800 µm。
這種不規(guī)則粗糙表面通常用于確定基于面積振幅的表面紋理參數(shù)。該表面采用基于模型 的設(shè)計(jì)方法確定，并以實(shí)際工程表面為原型 [4]。此外，通過對(duì)高度軸進(jìn)行校準(zhǔn)，進(jìn)一步擴(kuò)展了其功能 [5]。高度軸的校準(zhǔn)可通過計(jì)算線性偏差和放大系數(shù)來實(shí)現(xiàn)。這些參數(shù) 的確定方法參見 ISO 25178-60x 系列標(biāo)準(zhǔn)。然而，校準(zhǔn)并非使用數(shù)量有限的特定值，而是利用表面的線性阿博特曲線，通過比較測(cè)量高度值與目標(biāo)高度值，并結(jié)合所有測(cè)量 點(diǎn)，來確定響應(yīng)曲線。因此，校準(zhǔn)過程中使用了大量的測(cè)量點(diǎn)，從而實(shí)現(xiàn)了高精度且實(shí)用的校準(zhǔn)程序。
表 1 測(cè)量對(duì)象：表中列出了待確定的材料測(cè)量的所有計(jì)量參數(shù) [1]。
該裝置無需更換樣品即可在不同的顯微放大倍率下進(jìn)行校準(zhǔn)。因此，僅需一個(gè)樣品，即可替代多種其他材料測(cè)量值，從而實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)高效的校準(zhǔn)。其計(jì)量特性代表了面形表面形貌測(cè)量領(lǐng)域國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化的新水平。表1總結(jié)了定義的測(cè)量參數(shù)。表中的標(biāo)稱值是基于目標(biāo)制造幾何形狀計(jì)算得出的。
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