新品發布-六軸納米級壓電位移臺

導語：

星朗浩宇/昊量光電推出了新品 LT6 系列六軸（6-DOF）超精密壓電納米位移臺——以壓電陶瓷驅動+柔性鉸鏈無摩擦導向構建運動鏈，再以自研Silicon HR單晶硅傳感器閉環替代對環境敏感的傳統電容傳感，把本底噪聲壓入皮米區間（典型 10–50 pm），線性度推到 ≈0.02%，并在 X/Y/Z + θx/θy/θz全六自由度上實現穩定、可復現的亞納米級定位。

廣泛應用于：

1.    超分辨顯微 (TIRF?SIM/STORM)

2.    針尖增強拉曼 (TERS)

3.   量子科技 & 集成光子學（Quantum & Photonics）

4.   原子力顯微鏡& 精密傳感（AFM & Precision Sensing）

5.    半導體檢測 & 缺陷復查（Semiconductor Metrology）

產品介紹：

LT6 是一款超薄型六自由度（X/Y/Z + θx/θy/θz）壓電納米定位臺，專為倒置顯微鏡腔體與緊湊光路設計，可與粗定位臺組成宏?微系統。實現亞納米級分辨率（XYZ 0.1/0.2/0.3 nm）、低噪聲與更低長期漂移，三檔行程覆蓋100/200/300μm，角行程到5 mrad，輪廓僅193×152.5×36.9 mm，zui大負載水平0.5 kg / 垂直0.3 kg，標配模擬BNC控制、USB可選。

圖片來源于：法國CEMES研究中心

“這是我們在熒光壽命+拉曼（FLIM-RAMAN）聯用上的一個案例。這個成果是由法國的國jia材料研究中心（CEMES）的Marc WEBER團隊完成的，證明了我們的設備在頂ji基礎研究中的可靠性。"

LT6 核心技術特征：

傳統電機/導軌型 6 軸臺在超分辨、單分子/光鑷、波導對準、局部高倍量測等應用，制約信噪比的往往是平臺的微漂移與傾角抖動。LT6采用壓電柔性鉸鏈技術，再用硅基傳感器閉環提供更環境鈍感的基準，從而把定位問題從“zui小步進夠不夠"變成“到了點之后還穩不穩"。當工藝需要進真空腔時，LT6亦可按真空適配路線組織，作為腔內精定位段與粗定位機構配合運行。

?Si?HR 硅傳感：固態感知，抗環境擾動，低漂移。

? 柔性鉸鏈：無摩擦導向，500 Hz 高諧振。

?六軸閉環：全自由度解耦，θx/θy 實時傾角鎖定。

? 超薄架構：36.9 mm 低剖面，倒置顯微腔體直嵌。

LT6 產品主要參數：

*以上型號均可提供真空版本

實際案例二：細菌細胞壁合成的亞秒級動力學觀測

研究機構：德國弗萊堡大學微系統工程學院（IMTEK）| Julian Roth 團隊

技術挑戰：TIRF-SIM 超分辨成像需在極低光強下實現數赫茲的高速掃描，以捕捉細菌細胞壁構建的動態過程。這對樣品臺長期穩定性、低漂移及傾角控制提出了嚴苛要求。

LT6 解決方案：LT6六軸壓電納米臺憑借Si?HR硅傳感閉環與柔性鉸鏈導向，在高速掃描中保持了皮米級的定位穩定性，成功支撐了100 nm尺度下的雙色同步成像，無需擔心焦面漂移破壞珍貴的活細胞數據。

關于星朗浩宇/昊量光電：

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