新品發(fā)布-六軸納米級(jí)壓電位移臺(tái)

導(dǎo)語(yǔ)：

星朗浩宇/昊量光電推出了新品 LT6 系列六軸（6-DOF）超精密壓電納米位移臺(tái)——以壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)+柔性鉸鏈無(wú)摩擦導(dǎo)向構(gòu)建運(yùn)動(dòng)鏈，再以自研Silicon HR單晶硅傳感器閉環(huán)替代對(duì)環(huán)境敏感的傳統(tǒng)電容傳感，把本底噪聲壓入皮米區(qū)間（典型 10–50 pm），線性度推到 ≈0.02%，并在 X/Y/Z + θx/θy/θz全六自由度上實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定、可復(fù)現(xiàn)的亞納米級(jí)定位。

廣泛應(yīng)用于：

1.    超分辨顯微 (TIRF?SIM/STORM)

2.    針尖增強(qiáng)拉曼 (TERS)

3.   量子科技 & 集成光子學(xué)（Quantum & Photonics）

4.   原子力顯微鏡& 精密傳感（AFM & Precision Sensing）

5.    半導(dǎo)體檢測(cè) & 缺陷復(fù)查（Semiconductor Metrology）

產(chǎn)品介紹：

LT6 是一款超薄型六自由度（X/Y/Z + θx/θy/θz）壓電納米定位臺(tái)，專(zhuān)為倒置顯微鏡腔體與緊湊光路設(shè)計(jì)，可與粗定位臺(tái)組成宏?微系統(tǒng)。實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)分辨率（XYZ 0.1/0.2/0.3 nm）、低噪聲與更低長(zhǎng)期漂移，三檔行程覆蓋100/200/300μm，角行程到5 mrad，輪廓僅193×152.5×36.9 mm，zui大負(fù)載水平0.5 kg / 垂直0.3 kg，標(biāo)配模擬BNC控制、USB可選。

圖片來(lái)源于：法國(guó)CEMES研究中心

“這是我們?cè)跓晒鈮勖?拉曼（FLIM-RAMAN）聯(lián)用上的一個(gè)案例。這個(gè)成果是由法國(guó)的國(guó)jia材料研究中心（CEMES）的Marc WEBER團(tuán)隊(duì)完成的，證明了我們的設(shè)備在頂ji基礎(chǔ)研究中的可靠性。"

LT6 核心技術(shù)特征：

傳統(tǒng)電機(jī)/導(dǎo)軌型 6 軸臺(tái)在超分辨、單分子/光鑷、波導(dǎo)對(duì)準(zhǔn)、局部高倍量測(cè)等應(yīng)用，制約信噪比的往往是平臺(tái)的微漂移與傾角抖動(dòng)。LT6采用壓電柔性鉸鏈技術(shù)，再用硅基傳感器閉環(huán)提供更環(huán)境鈍感的基準(zhǔn)，從而把定位問(wèn)題從“zui小步進(jìn)夠不夠"變成“到了點(diǎn)之后還穩(wěn)不穩(wěn)"。當(dāng)工藝需要進(jìn)真空腔時(shí)，LT6亦可按真空適配路線組織，作為腔內(nèi)精定位段與粗定位機(jī)構(gòu)配合運(yùn)行。

?Si?HR 硅傳感：固態(tài)感知，抗環(huán)境擾動(dòng)，低漂移。

? 柔性鉸鏈：無(wú)摩擦導(dǎo)向，500 Hz 高諧振。

?六軸閉環(huán)：全自由度解耦，θx/θy 實(shí)時(shí)傾角鎖定。

? 超薄架構(gòu)：36.9 mm 低剖面，倒置顯微腔體直嵌。

LT6 產(chǎn)品主要參數(shù)：

*以上型號(hào)均可提供真空版本

實(shí)際案例二：細(xì)菌細(xì)胞壁合成的亞秒級(jí)動(dòng)力學(xué)觀測(cè)

研究機(jī)構(gòu)：德國(guó)弗萊堡大學(xué)微系統(tǒng)工程學(xué)院（IMTEK）| Julian Roth 團(tuán)隊(duì)

技術(shù)挑戰(zhàn)：TIRF-SIM 超分辨成像需在極低光強(qiáng)下實(shí)現(xiàn)數(shù)赫茲的高速掃描，以捕捉細(xì)菌細(xì)胞壁構(gòu)建的動(dòng)態(tài)過(guò)程。這對(duì)樣品臺(tái)長(zhǎng)期穩(wěn)定性、低漂移及傾角控制提出了嚴(yán)苛要求。

LT6 解決方案：LT6六軸壓電納米臺(tái)憑借Si?HR硅傳感閉環(huán)與柔性鉸鏈導(dǎo)向，在高速掃描中保持了皮米級(jí)的定位穩(wěn)定性，成功支撐了100 nm尺度下的雙色同步成像，無(wú)需擔(dān)心焦面漂移破壞珍貴的活細(xì)胞數(shù)據(jù)。

關(guān)于星朗浩宇/昊量光電：

星朗浩宇/昊量光電憑借本地化銷(xiāo)售網(wǎng)絡(luò)與專(zhuān)業(yè)技術(shù)支持團(tuán)隊(duì)，長(zhǎng)期服務(wù)于國(guó)內(nèi)數(shù)以萬(wàn)計(jì)工業(yè)及科研客戶(hù)，涵蓋半導(dǎo)體、生物醫(yī)療、量子科技、精密制造、生物顯微、物聯(lián)傳感、材料加工、光通訊等前沿領(lǐng)域。

星朗浩宇/昊量光電擁有的專(zhuān)家級(jí)的軟硬件開(kāi)發(fā)團(tuán)隊(duì)及豐富的行業(yè)應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，可提供：

? 全天候售后技術(shù)支持——快速響應(yīng)，確保設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行；

? 定制化解決方案——從售前咨詢(xún)到安裝，培訓(xùn)，系統(tǒng)集成等，滿(mǎn)足多樣化需求；

? 客戶(hù)高度認(rèn)可——服務(wù)案例覆蓋眾多頭部企業(yè)及科研機(jī)構(gòu)，客戶(hù)滿(mǎn)意度持續(xù)居前列。